这是一款高能量密度的电子束加工装置设备,集成了电子发射、加速、聚焦、控制及真空保障等多个系统,广泛应用于精密制造、材料改性、航空航天部件加工等领域。
电子枪:产生初始电子束,是电子束的 “发射源”。
聚焦线圈 + 加速管:对电子束进行聚焦和高能加速,使其具备足够的能量密度。
循环水冷系统:为高负荷工作的部件(如加速管、电子枪)散热,保障设备稳定运行。
真空泵 + 真空腔:构建高真空环境,减少电子束传输过程中的能量损耗与散射。
微波系统(波导系统 + 速调管 + 脉冲变压器):为电子束加速提供微波能量,是实现 “高能电子束” 的关键动力系统。
扫描系统(扫描磁铁 + 扫描盒):精准控制电子束的扫描轨迹,使电子束能按工艺需求作用于工件表面。